[发明专利]大面积微纳结构电流体动力学打印的喷射高度误差补偿方法

权利要求书

1.一种大面积微纳结构电流体动力学打印的喷射高度误差补偿方法，其特征在于：其步骤如下：

(一)确定基板约束点的数量；

(二)得到基板约束点的Z轴坐标值zi，其中1≤i≤N×M，N为基板约束点在X轴上约束点的数量，M为基板约束点在Y轴上约束点的数量，N≥3，M≥3；

(三)构建XY平面四边形网格；

(四)确定XY平面四边形网格顶点的Z轴坐标值zj，其中1≤j≤S×T，S为构建的XY平面四边形网格在X轴上网格数的个数，T为构建的XY平面四边形网格在Y轴上网格数的个数；

(五)构建基板打印面积的三维曲面；

(六)获得当前打印基板位置的Z轴坐标值zc，其中c>0；

(七)补偿电流体动力学打印的喷射高度。

2.根据权利要求1所述的大面积微纳结构电流体动力学打印的喷射高度误差补偿方法，其特征在于：(一)中根据电流体动力学打印面积，确定约束点的数量，在基板的XY平面内确定X轴和Y轴上的约束点数量分别为N和M，N≥3，M≥3，根据电流体动力学装置的运动平台的移动距离分别得到各个约束点的X轴和Y轴的位置，其N×M个约束点在XY平面的坐标为(xi,yi)N×M，其中，1≤i≤N×M。

3.根据权利要求2所述的大面积微纳结构电流体动力学打印的喷射高度误差补偿方法，其特征在于：(二)中采用测量检测设备对基板的XY平面上的N×M个约束点进行Z轴位置原位检测，得到N×M个约束点的Z轴坐标值为zi，其中，1≤i≤N×M。

4.根据权利要求3所述的大面积微纳结构电流体动力学打印的喷射高度误差补偿方法，其特征在于：(三)中根据电流体动力学打印面积，构建XY平面的四边形网格，X轴和Y轴上的网格数量分别为S和T，，并得到各网格点的平面坐标为(xj,yj)S×T，其中1≤j≤S×T，S≥N，T≥M。