[发明专利]传感器装置及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路领域，更具体地涉及传感器装置及其制造方法。

背景技术

随着柔性电子学的发展，柔性传感器技术已逐渐成为一项令人瞩目的高新智能交互技术，并且广泛应用于结构健康监测系统、智能仿生系统、以及医学监测中。柔性传感器技术对实现柔性接触界面、曲面和不规则形状接触界面之间的接触交互作用力的感测，以及动态分布信息的感测具有至关重要的作用。基于此技术的柔性传感器阵列是测量多种柔性接触界面及超窄间隙接触界面之间的分布信息的理想器件，表现出了极大的应用前景。

然而，柔性传感器阵列的传统分布式测量网络存在布线复杂、系统庞大、维护困难、成本较高等不足，且常常对原有构件的重量、几何完整性、物理特征(如附加质量或布线槽引起构件振动特性、应力分布的变化)造成不同程度的影响，例如导致传感器的输出精度差。因此，需要提供一种新的柔性传感器阵列及其制造方法，以极大简化传感器阵列布置工序，提高传感器输出精度。

发明内容

为了解决传统的柔性传感器阵列的分布式测量网络的各种缺陷，本发明提供了一种新的传感器装置及其制造方法。

本发明的实施例提供了一种传感器装置，其特征在于，所述传感器装置包括：第一柔性膜和第二柔性膜；柔性印刷电路，所述柔性印刷电路设置在所述第一柔性膜的第一侧上；多个传感器，设置在所述第一侧上并且介于所述第一柔性膜和所述第二柔性膜之间；其中，所述多个传感器与所述柔性印刷电路电连接。

根据本发明的一个实施例，其特征在于，所述柔性印刷电路包括多条导线和多个电极，其中，所述多条导线的数量与所述多个电极的数量相同，且一条导线与一个电极电连接。

根据本发明的一个实施例，其特征在于，所述柔性印刷电路还包括多个位置标记，在每一个位置标记中设置一个传感器，所述多个电极以成对的形式出现，每一个传感器与一对电极均电连接。

根据本发明的一个实施例，其特征在于，所述一对电极分别为高电位电极和低电位电极。

根据本发明的一个实施例，其特征在于，所述多个传感器被设置为包括多行和多列的传感器阵列。

本发明的实施例还提供了一种制造传感器装置的方法，其特征在于，所述方法包括：将柔性印刷电路设置在第一柔性膜的第一侧上；将多个传感器设置在所述第一侧上并且介于所述第一柔性膜和第二柔性膜之间；将所述多个传感器与所述柔性印刷电路电连接。

根据本发明的一个实施例，其特征在于，所述柔性印刷电路包括多条导线和多个电极，其中，所述多条导线的数量与所述多个电极的数量相同，且一条导线与一个电极电连接。

根据本发明的一个实施例，其特征在于，所述柔性印刷电路还包括多个位置标记，在每一个位置标记中设置一个传感器，所述多个电极以成对的形式出现，每一个传感器与一对电极均电连接。

根据本发明的一个实施例，其特征在于，所述一对电极分别为高电位电极和低电位电极。

根据本发明的一个实施例，其特征在于，所述方法还包括：将所述多个传感器设置为包括多行和多列的传感器阵列。

根据本发明的实施例的传感器装置及其制造方法可有效提高传感网络的集成化程度，简化测量系统、传输网络，并且由于传感器和电路集成在柔性膜之间，可与结构很好共形，提高传感器输出精度，同时降低工程施工难度和后期维护成本。

附图说明

当结合附图进行阅读时，根据下面详细的描述可以更好地理解本发明的各个方面。

图1示出了根据本发明的实施例空白柔性膜。

图2示出了根据本发明的实施例的印刷电路膜。

图3示出了根据本发明的实施例制造传感器装置的方法的流程图。

具体实施方式

以下公开内容提供了许多不同实施例或实例，用于实现所提供主题的不同特征。以下将描述组件和布置的特定实例以简化本发明。当然，这些仅是实例并且不意欲限制本发明。另外，本发明可以在多个实例中重复参考标号和/或字符。这种重复是为了简化和清楚的目的，并且其本身不指示所讨论的各个实施例和/或配置之间的关系。