[发明专利]一种无氨氟化物盐电子基板清洗组合物的制备方法有效
| 申请号： | 201610636288.0 | 申请日： | 2016-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN106283092B | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 金峰;王龙 | 申请（专利权）人： | 宁波金特信钢铁科技有限公司 |
| 主分类号： | C23G1/24 | 分类号： | C23G1/24;C09G1/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315002 浙江省宁波市宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子基板 制备 清洗组合物 氟化物盐 洗涤剂 溶解 双氧水 十二烷基磺酸钠 羟甲基纤维素钠 磨料 电子基板表面 多孔二氧化硅 纳米二氧化硅 抛光基板表面 复杂化合物 碱性清洗剂 金属螯合剂 聚丙烯酰胺 烷基氟化铵 洗涤剂溶解 磺胺 表面覆盖 碱性物质 金属离子 聚丙酰胺 清洗过程 清洗技术 原料制备 平坦化 覆铜 螯合 并用 腐蚀 金属 | ||
1.一种无氨氟化物盐电子基板清洗组合物的制备方法，其特征在于具体制备步骤为：
（1）分别称取4~6g羟甲基纤维素钠，4~6g十二烷基磺酸钠，5~10g纳米二氧化硅，加入600~800mL去离子水中，置于300W超声分散机中超声分散15~20min，配制 成悬浊液，将悬浊液放入﹣60~﹣50℃真空干燥箱中，抽至真空度为1~10Pa，冷冻干燥20~30h后，将干燥产物装入电阻炉中煅烧，以5~10℃/min升温至1000~1200℃，保持温度3~4h，自然冷却至室温，取出，得多孔二氧化硅，备用；
（2）称取7~8g聚丙烯酰胺，加入500~600mL去离子水中，以300~400r/min搅拌至聚丙烯酰胺完全溶解，并用质量分数为10%甲胺水溶液调节溶液pH为8~11，继续搅拌20~30min，加热至60~70℃，加入17~18g磺胺，保持温度反应3~4h，得金属螯合剂；
（3）称取1~2g上述步骤（1）制备的多孔二氧化硅，加入10~12mL上述金属螯合剂中，以200~300r/min搅拌混合15~20min，转入旋转蒸发仪中，蒸发至原混合液体积40~50%，装入105~110℃干燥箱中干燥至恒重，得固相洗涤剂；
（4）称取1~2g聚丙烯酰胺，加入20~30mL质量分数为10%双氧水，以200~300r/min搅拌至聚丙烯酰胺完全溶解，加入0.5~1.0g四烷基氟化铵，继续搅拌1~2h，得液相洗涤剂，将1~2g上述固相洗涤剂与液相洗涤剂混合均匀，加入70~80mL去离子水中，并用质量分数为10%甲胺水溶液调节混合液pH为7~10，得无氨氟化物盐电子基板清洗组合物。
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