[发明专利]一种射频等离子体原位清洗第一镜的方法在审
| 申请号： | 201610638821.7 | 申请日： | 2016-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN106064167A | 公开（公告）日： | 2016-11-02 |
| 发明（设计）人： | 鄢容;彭姣;陈俊凌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院等离子体物理研究所 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;G21B1/23 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 射频 等离子体 原位 清洗 第一 方法 | ||
【权利要求书】：
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