[发明专利]晶圆测试机台的远端监控方法及系统

权利要求书

1.一种晶圆测试机台的远端监控方法，适于由监控装置监控多个测试机台，所述方法包括下列步骤：

通过网络连线各所述测试机台，以控制所述测试机台移入一晶圆；

挂载一准备代码于所述测试机台，以控制所述测试机台读取所述晶圆的识别参数，并将所读取的所述识别参数与制造执行系统取得的产品参数比对；

若比对结果相符，依序挂载至少一工作代码于所述测试机台，以控制所述测试机台对所述晶圆上的多个晶粒进行测试，并输出测试数据；以及

当所述晶圆的所有晶粒完成测试时，控制所述测试机台移出所述晶圆，

其中依序挂载所述至少一工作代码于所述测试机台，以控制所述测试机台对所述晶圆上的所述晶粒进行测试，并输出测试数据的步骤包括：

挂载一测试代码于所述测试机台，以控制所述测试机台对所述晶圆上的部分所述晶粒进行第一次测试；

当所述第一次测试结束时，控制所述测试机台停机，并挂载一检查代码于所述测试机台，以检查所述第一次测试的结果是否正常；

若所述第一次测试的结果正常，继续挂载其他所述至少一工作代码，以控制所述测试机台对所述晶圆上的其他所述晶粒进行测试，并输出所述测试数据，直到所述晶圆的所有晶粒皆完成测试；以及

若所述第一次测试的结果不正常，结束所述晶圆的测试。

2.根据权利要求1所述的方法，其中在通过网络连线各所述测试机台，以控制所述测试机台移入所述晶圆的步骤之前，还包括：

校正各所述测试机台的时间，使得所述测试机台的所述时间与所述监控装置的时间一致。

3.根据权利要求1所述的方法，其中当所述晶圆的所有晶粒完成测试时，所述方法还包括：

计算所述晶圆移入及移出所述测试机台所经过的时间，并根据所述测试机台进行测试的次数，计算所述测试机台每进行一次测试所花费的时间。

4.根据权利要求1所述的方法，其中当所述晶圆的所有晶粒完成测试时，所述方法还包括：

累计各所述工作代码被挂载的时间，以评估所述测试机台执行所述工作代码对应的测试工作所花费的时间。

5.根据权利要求1所述的方法，其中依序挂载至少一工作代码于所述测试机台，以控制所述测试机台对所述晶圆上的所述晶粒进行测试，并输出测试数据的步骤还包括：

判断所述测试机台在进行测试时是否发生预先定义的多个事件其中之一；以及

若符合所述事件其中之一，输出预先定义的所述事件发生时所需的所述测试数据。

6.根据权利要求1所述的方法，还包括：

通过网络连线各所述测试机台，以取得各所述测试机台进行测试所产生的即时信息；以及

显示由各所述测试机台取得的所述即时信息于一监控页面。

7.根据权利要求6所述的方法，其中在显示各所述测试机台的所述即时信息在所述监控页面的步骤之后，还包括：

接收对于所述监控页面中所述测试机台其中之一的控制操作；以及

通过所述网络连线所述控制操作对应的所述测试机台，以对所述测试机台进行所述控制操作。

8.根据权利要求7所述的方法，其中在接收对于所述监控页面中所述测试机台其中之一的控制操作的步骤之后，还包括：

通过所述网络连线所述控制操作对应的所述测试机台，以显示所述测试机台的人机界面；以及

接收对于所述人机界面的所述控制操作，据以控制所述测试机台执行所述控制操作对应的功能。

9.根据权利要求6所述的方法，其中显示各所述测试机台的所述即时信息在所述监控页面的步骤还包括：

显示与所述监控装置连线的所有测试机台；以及

接收对于所显示的所述测试机台至少其中之一的选择操作，据以决定在所述监控页面中显示所述即时信息的所述测试机台。