[发明专利]一种用于电子显微仪器的真空泄放系统

权利要求书

1.一种用于电子显微仪器的真空泄放系统，其特征在于，包括泄放装置和控制装置，所述泄放装置包括泄放管道，泄放管道一端为进气口，进气口处设有进气阀，泄放管道的另一端为排气口，排气口通过排气阀与电子显微仪器的真空室连通；所述泄放管道上设有复合真空计；所述控制装置包括控制器，控制器分别与进气阀、排气阀和复合真空计电连接；所述泄放装置还包括气室，气室通过真空阀与泄放管道连通，真空阀与控制器电连接。

2.如权利要求1所述的一种用于电子显微仪器的真空泄放系统，其特征在于，所述泄放装置包括三组气室和三组真空阀，三组气室并列设置，分别通过真空阀与泄放管道连通，所述三组真空阀分别与控制器电连接。

3.如权利要求1所述的一种用于电子显微仪器的真空泄放系统，其特征在于，所述泄放管道上设有第一支路，第一支路上安设有手动排气阀。

4.如权利要求1所述的一种用于电子显微仪器的真空泄放系统，其特征在于，在泄放管道的进气口处安设过滤器。

5.如权利要求1所述的一种用于电子显微仪器的真空泄放系统，其特征在于，所述泄放管道设有第二支路，所述复合真空计通过联结夹连接固定在第二支路上。