[发明专利]一种喷淋设备

说明书

技术领域

本发明涉及液晶面板制造技术领域，特别涉及一种喷淋设备。

背景技术

CF Wet设备(湿式设备)，如Cleaner(清洗机)用于玻璃基板表面涂布前的清洗，去除粒子(Particle)和有机物等脏污，Develop(显影机)用于玻璃基板涂布曝光后光阻的剥离，以形成所需的pattern(图案)。

请参阅图1，图1是现有技术中一种喷淋管的局部结构示意图。

如图1所示，Wet设备的喷淋管10工作原理如下：

药液或水13以一定压力供给至喷淋管11，通过喷淋管11上的喷嘴14喷淋在玻璃基板(图未示)表面。喷嘴14的设计，使液体喷出呈一定角度的扇形，保证其在玻璃基板表面均匀喷淋。

液体均匀喷洒在基板表面，是保证基板表面横向制程能力均等的重要条件。例：Cleaner设备某喷嘴14分叉时，可能造成此处particle数偏高，整片基板形成纵向一列particle集中偏高。

生产过程中，Wet设备发生制程不良时，需要调查是否是因为喷嘴14喷淋不均匀造成，喷嘴14喷淋的角度是否为最佳，喷嘴14喷淋造成不良位置的坐标在哪。

由于现有的喷淋管11为固定式设设，造成如下不便

1、无法实现喷嘴14在基板上喷淋位置的移动；

2、无法实现喷嘴14喷淋与基板的夹角调节；

3、无法直观显示喷嘴14喷淋处在基板的坐标。

发明内容

本发明提供一种喷淋设备，以解决现有技术中无法实现喷嘴在基板上喷淋位置的移动、无法实现喷嘴喷淋与基板的夹角调节以及无法直观显示喷嘴喷淋处在基板的坐标的技术问题。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种喷淋设备，所述喷淋设备包括：

外管；

内管，设于所述外管内，所述内管设有多个喷嘴；

其中，所述内管可相对所述外管进行轴向调节和径向调节。

根据本发明一优选实施例，所述喷淋设备还包括转接头，所述转接头与所述外管连接，用于将液体传输给所述内管。

根据本发明一优选实施例，所述外管设有轴向开槽，所述轴向开槽设有轴向刻度。

根据本发明一优选实施例，所述轴向开槽上进一步设有坐标槽，所述坐标槽上设有坐标尺。

根据本发明一优选实施例，所述外管还设有径向开槽，所述径向开槽设有径向刻度。

根据本发明一优选实施例，所述内管上设有轴向中心标示线，所述内管与所述外管装配时，所述轴向中心标示线位于所述坐标槽内，并与所述坐标尺对齐。

根据本发明一优选实施例，所述内管上还设有调节柄，所述内管与所述外管装配时，所述调节柄位于所述径向开槽内，用于进行径向调节。

根据本发明一优选实施例，所述内管上还设有径向中心标识线，所述径向中心标识线自所述调节柄延伸并与所述径向刻度对齐。

根据本发明一优选实施例，所述喷淋设备还包括防松螺丝，所述防松螺丝在所述内管与所述外管装配时贯穿螺接在所述外管上，用于抵接压紧所述内管。

根据本发明一优选实施例，所述外管与所述内管之间设有密封圈。

本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明提供的喷淋设备极大地提高了实用性和灵活性，利于进行设备调整、不良分析和工程实验，同时极大地提高了工程效率，减少了喷淋不良，提高了工艺良率，降低了生产成本。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：

图1是现有技术中一种喷淋管的局部结构示意图；

图2是本发明一优选实施例提供的喷淋设备的局部结构示意图；

图3是图2中所示的喷淋设备的外管的局部结构示意图；

图4是图2中所示的喷淋设备的内管的局部结构示意图；

图5是图2中所示的喷淋设备进行径向调节的示意图；

图6是图2中所示的喷淋设备外管和内管的固定方式的示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。