[发明专利]一种基于平行光比例成像的远距离微物重合度检测方法有效
申请号: | 201610644976.1 | 申请日: | 2016-08-08 |
公开(公告)号: | CN106323164B | 公开(公告)日: | 2019-02-15 |
发明(设计)人: | 何建国;韩炜;麻云凤;余锦;貊泽强;林蔚然;刘昊;陈艳中;李昊;凡炼文 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电研究院 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人: | 李莎;李弘 |
地址: | 100094 北京市海*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学成像系统 观测设备 重合度 平行光 远距离 成像 焦点处 物像 检测 白光光源 反向放置 光束照射 焦点位置 清晰显示 焦距 大空间 匀光板 重合 缩放 微调 光源 测量 | ||
1.一种基于平行光比例成像的远距离微物重合度检测方法,采用基于平行光比例成像的远距离微物重合度装置对第一微物和第二微物的重合度进行检测,所述远距离微物重合度检测装置包括白光光源、匀光板、第一光学成像系统、第二光学成像系统以及观测设备,其特征在于,该方法包括:
搭建所述第一光学成像系统和所述第二光学成像系统并按照预定比例关系对所述第一和第二光学系统进行调焦后,调节所述第一和第二光学成像系统至同轴;其中,所述预定比例关系是所述第一光学成像系统和所述第二光学成像系统的焦距比与所述第一微物和所述第二微物的几何尺寸比成反比,即f1:f2=h2:h1,f1、f2分别为所述第一光学成像系统和所述第二光学成像系统的焦距,h1、h2分别为所述第一微物和所述第二微物的几何尺寸;
开启所述白光光源,通过所述匀光板将来自所述白光光源的光束匀化为均质白光,照射在所述第一微物上;
将所述第一微物置于所述第一光学成像系统的焦点处,使所述第一光学成像系统能够捕捉到所述第一微物均匀清晰的物像;
将所述第二光学成像系统沿着光轴反向放置在所述第一光学成像系统后端的预定位置,使所述第二微物位于所述第二光学成像系统的焦点位置;
将所述观测设备置于所述第二微物后侧,使所述观测设备与前端光路同轴,调整所述观测设备的位置,使所述第二微物位于所述观测设备的焦点处;
微调所述观测设备的焦距,使所述第二微物和所述第一微物缩放后的物像在所述观测设备上清晰显示,比较所述第二微物和所述第一微物的物像的重合精度,得到测量结果。
2.根据权利要求1所述的基于平行光比例成像的远距离微物重合度检测方法,其特征在于,所述第一微物和所述第二微物是一个微小物体本身,或是宏观物体上的微小几何特征。
3.根据权利要求1所述的基于平行光比例成像的远距离微物重合度检测方法,其特征在于,所述第一光学成像系统与所述第二光学成像系统利用已知误差的高精度平行光束进行耦合,用于兼容不同微物间距的测量情况。
4.根据权利要求1所述的基于平行光比例成像的远距离微物重合度检测方法,其特征在于,所述观测设备是读数显微镜或数字光电传感器。
5.根据权利要求2所述的基于平行光比例成像的远距离微物重合度检测方法,其特征在于,所述第一微物和所述第二微物是两个几何尺寸全等的微物或者是两个几何尺寸具有一定比例关系的微物。
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