[发明专利]一种封闭式自体循环的碱性蚀刻液循环再生系统在审
| 申请号： | 201610646086.4 | 申请日： | 2016-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN106011863A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 韦建敏;赵兴文;张晓蓓;张小波 | 申请（专利权）人： | 成都虹华环保科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C23F1/08;C25C1/12;C25C7/00 |
| 代理公司： | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人： | 袁英 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 封闭式 体循环 碱性 蚀刻 循环 再生 系统 | ||
【权利要求书】：
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