[发明专利]一种硅靶材配料调节极性、电阻率测算方法有效
申请号: | 201610650014.7 | 申请日: | 2016-08-10 |
公开(公告)号: | CN106294302B | 公开(公告)日: | 2018-10-09 |
发明(设计)人: | 范占军;盛之林;盛旺;马晓林;谢永龙 | 申请(专利权)人: | 宁夏高创特能源科技有限公司 |
主分类号: | G06F17/24 | 分类号: | G06F17/24;G06F17/50;G06Q50/04;C23C14/35;C30B29/06 |
代理公司: | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人: | 郭立宁 |
地址: | 751100 宁夏回族*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅靶材 配料 调节 极性 电阻率 测算 方法 | ||
【权利要求书】:
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