[发明专利]一种基于伯努利效应的底座及外延设备

权利要求书

1.一种基于伯努利效应的底座，包括底座主体及设于所述底座主体背面的支撑杆，其特征在于：

所述底座主体内部设有空腔；

所述支撑杆中设有与所述空腔连通的喷射气体供气孔；

所述底座主体正面设有若干与所述空腔连通的喷射气体出气孔；所述喷射气体出气孔向所述底座主体外侧倾斜，用于从所述底座主体正面向所述底座主体外侧喷射气体，使所述底座主体正面气压降低，利用伯努利效应将晶圆吸附于所述底座主体正面。

2.根据权利要求1所述的基于伯努利效应的底座，其特征在于：所述喷射气体出气孔靠近所述底座正面边缘区域。

3.根据权利要求1所述的基于伯努利效应的底座，其特征在于：所述底座主体内部设有N套独立设置的所述空腔，其中，N为大于1的整数；所述支撑杆中相应设有N个所述喷射气体供应孔，这N个喷射气体供应孔分别与相应的一个空腔连通；所述底座主体正面的若干所述喷射气体出气孔分为N组，每组喷射气体出气孔分别与相应的一个空腔连通。

4.根据权利要求3所述的基于伯努利效应的底座，其特征在于：2≤N≤5。

5.根据权利要求1所述的基于伯努利效应的底座，其特征在于：所述空腔包括至少两条管路。

6.根据权利要求5所述的基于伯努利效应的底座，其特征在于：所述空腔包括一条环形管路及至少一条条形管路；所述环形管路与所述喷射气体出气孔连通，所述条形管路的一端连通所述环形管路，另一端连通所述喷射气体供气孔。

7.一种外延设备，其特征在于：所述外延设备包括如权利要求1-6任意一项所述的基于伯努利效应的底座。

8.根据权利要求7所述的外延设备，其特征在于：所述外延设备包括石英腔室；所述石英腔室中设有两个所述基于伯努利效应的底座；这两个基于伯努利效应的底座正面相对，分别位于所述石英腔室上部与下部。

9.根据权利要求8所述的外延设备，其特征在于：两个基于伯努利效应的底座的支撑杆分别穿通所述石英腔室的顶面与底面。

10.根据权利要求8所述的外延设备，其特征在于：所述石英腔室包括反应气体进气口及反应气体尾气口；所述反应气体进气口及反应气体尾气口分别设于所述石英腔室的一对相对侧面上，且当所述石英腔室水平放置时，所述反应气体进气口所在水平面及所述反应气体尾气口所在水平面均位于两个基于伯努利效应的底座之间。

11.根据权利要求10所述的外延设备，其特征在于：所述反应气体进气口所在石英腔室侧面上还设有两个吹扫气体进气口，这两个吹扫气体进气口分别位于所述反应气体进气口上方及下方，用于带走所述喷射气体出气孔喷出的气体。

12.根据权利要求8所述的外延设备，其特征在于：所述石英腔室外部上方及外部下方均设有加热灯管。