[发明专利]指纹识别单元及制作方法、阵列基板、显示装置及指纹识别方法有效
申请号: | 201610670942.X | 申请日: | 2016-08-15 |
公开(公告)号: | CN106326845B | 公开(公告)日: | 2017-08-11 |
发明(设计)人: | 许睿;王海生 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G06K9/00 | 分类号: | G06K9/00 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司11274 | 代理人: | 周娟 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 指纹识别 单元 制作方法 阵列 显示装置 方法 | ||
1.一种指纹识别单元,其特征在于,包括光敏器件、数据读取信号线和控制光敏器件开关的薄膜晶体管,所述薄膜晶体管的栅极与控制信号线电连接,所述光敏器件的第一电极与参考电压数据线电连接,所述光敏器件上形成有用于将光敏器件与OLED发光层绝缘的第一绝缘层,OLED发光层与光敏器件对应的部分不发光;其中,
所述控制信号线用于控制薄膜晶体管的开关,所述数据读取信号线用于读取所述光敏器件产生的光电流。
2.根据权利要求1所述的指纹识别单元,其特征在于,所述薄膜晶体管的源极与数据读取信号线电连接,所述薄膜晶体管的漏极与所述光敏器件的第二电极电连接。
3.根据权利要求2所述的指纹识别单元,其特征在于,所述光敏器件的第一电极为P电极,第二电极为N电极。
4.根据权利要求1所述的指纹识别单元,其特征在于,所述光敏器件为PIN光敏器件、PN光敏器件或肖特基型光敏器件。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的指纹识别单元,其特征在于,所述薄膜晶体管包括缓冲层、有源层、栅极绝缘层、栅极、源极和漏极,所述有源层形成在所述缓冲层上,所述栅极绝缘层形成在所述有源层上,所述栅极、源极和漏极分别形成在所述栅极绝缘层上,所述栅极绝缘层开设有第一过孔和第二过孔,所述源极通过第一引线与所述有源层电连接,所述漏极通过第二引线与所述有源层电连接,所述第一引线穿过第一过孔,所述第二引线穿过第二过孔。
6.根据权利要求1所述的指纹识别单元,其特征在于,所述指纹识别单元还包括开设第三过孔的第二绝缘层,所述第二绝缘层位于薄膜晶体管与第一绝缘层之间;所述光敏器件位于所述第二绝缘层与所述第一绝缘层之间;所述光敏器件的第二电极通过第三引线与所述薄膜晶体管的漏极电连接,所述第三引线穿过第三过孔。
7.根据权利要求6所述的指纹识别单元,其特征在于,所述第二绝缘层的下表面和所述薄膜晶体管之间形成有第一保护层,所述第二绝缘层的上表面还形成有与参考电压数据线电连接的金属层,所述光敏器件形成在所述金属层上,所述第二绝缘层的上表面和所述光敏器件形成有用于使光敏器件的第一电极和第二电极绝缘的第二保护层;其中,
所述光敏器件的第一电极与金属层接触,所述第二电极裸露在所述第二保护层外,所述第二保护层与所述第一绝缘层接触;
所述第一保护层开设有第四过孔,所述第二保护层开设有第五过孔,所述第四过孔通过第三过孔与第五过孔连通,所述第三引线分别穿过第四过孔和第五过孔。
8.一种指纹识别单元的制作方法,其特征在于,包括:
形成薄膜晶体管、光敏器件、控制信号线和数据读取信号线,使所述薄膜晶体管控制光敏器件的开关,所述数据读取信号线读取所述光敏器件产生的光电流,薄膜晶体管的栅极与控制信号线电连接,光敏器件的第一电极与参考电压数据线电连接;
在光敏器件上形成第一绝缘层,得到指纹识别单元;所述第一绝缘层用于将光敏器件与OLED发光层绝缘,以使OLED发光层与光敏器件对应的部分不发光。
9.根据权利要求8所述的指纹识别单元的制作方法,其特征在于,形成薄膜晶体管的方法为:
形成缓冲层,在缓冲层上形成有源层,在有源层上形成栅极绝缘层;
在栅极绝缘层上形成栅极,使所述栅极与控制信号线电连接;
在栅极绝缘层通过构图工艺开设第一过孔和第二过孔;
在第一过孔中形成第一引线,在第二过孔中形成第二引线;
在栅极绝缘层上形成源极和漏极,使所述源极通过第一引线与所述有源层电连接,所述漏极通过第二引线与所述有源层电连接,所述源极与数据读取信号线电连接,所述漏极与所述光敏器件的第二电极电连接,得到薄膜晶体管。
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