[发明专利]一种基于晶硅太阳能电池产生的硅泥制备高纯α相氮化硅粉体的方法在审
申请号: | 201610673923.2 | 申请日: | 2016-08-16 |
公开(公告)号: | CN107758634A | 公开(公告)日: | 2018-03-06 |
发明(设计)人: | 朴贤卿;孙卓;于欣阳;张哲娟 | 申请(专利权)人: | 上海纳晶科技有限公司 |
主分类号: | C01B21/068 | 分类号: | C01B21/068 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 | 代理人: | 金彦,许亦琳 |
地址: | 201109 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 太阳能电池 产生 制备 高纯 氮化 硅粉体 方法 | ||
1.一种基于晶硅太阳能电池切削产生的硅泥制备高纯α相氮化硅粉体的方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)将晶硅太阳能电池切削产生的硅泥除水干燥后过筛,得到反应原料;
2)将步骤1)得到的反应原料在隔绝氧气下,通入含氮非氧化性气体进行氮化,即得到α相氮化硅粉体。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤1)中,过筛后加入含氮的添加剂,再进行混合研磨,得到反应原料。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述添加剂选自尿素、三聚氰胺、碳酸铵、碳酸氢铵和卤化铵中的一种或多种。
4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,硅泥与添加剂的重量比为5~50:1。
5.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,步骤1)中,过筛后的硅泥D50粒径≤10μm。
6.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,步骤1)中,除水的方法为真空加热除水、冷冻干燥除水,直接加热除水或微波加热除水。
7.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,步骤2)中,氮化使用的设备为气氛烧结炉、管式炉、隧道窑炉或微波加热炉。
8.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,步骤2)中,含氮非氧化性气体选自氮气、氮氢混合气和氨气中一种或多种。
9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,还包括以下特征中的任一项或两项:
a)氮氢混合气中氢气的体积百分比为10%以下;
b)氮气和氨气的混合气体中氮气与氨气的体积比为95∶5~50∶50。
10.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,氮化温度为800~1500℃,氮化时间为120~480分钟。
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