[发明专利]一种光电检测装置、方法和光刻胶涂覆设备有效
| 申请号： | 201610675863.8 | 申请日： | 2016-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN106198397B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 齐发;徐海涛;刘超;钱娟娟;彭亮亮;欧阳欠;江涛 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;G03F7/16 |
| 代理公司： | 11274 北京中博世达专利商标代理有限公司 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光电 检测 装置 方法 光刻 胶涂覆 设备 | ||
【权利要求书】：
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