[发明专利]扩散源涂覆装置有效
| 申请号： | 201610681849.9 | 申请日： | 2016-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN106065495B | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 张松;刘成法;张为国;刘超;陈寒 | 申请（专利权）人： | 上海大族新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | B05D1/00 | 分类号： | B05D1/00;B05D1/02;H01L21/228;C30B31/04 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 刘雯 |
| 地址： | 201615 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扩散 源涂覆 装置 | ||
【说明书】：
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