[发明专利]一种自谐振射频功率源有效
申请号: | 201610685242.8 | 申请日: | 2016-08-18 |
公开(公告)号: | CN106301290B | 公开(公告)日: | 2019-06-04 |
发明(设计)人: | 竹磊;卓英浩 | 申请(专利权)人: | 苏州远创达科技有限公司 |
主分类号: | H03J7/04 | 分类号: | H03J7/04 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 常亮 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 谐振 射频 功率 | ||
【权利要求书】:
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