[发明专利]一种内部浮硅的同轴硅通孔等效电路模型及参数提取方法有效
| 申请号： | 201610685274.8 | 申请日： | 2016-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN106354904B | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 赵文生;郑杰;徐魁文;王高峰 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 杜军 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 内部 同轴 硅通孔 等效电路 模型 参数 提取 方法 | ||
【权利要求书】：
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