[发明专利]基于MEMS微气压计的差分式次声波监测仪

权利要求书

1.一种基于MEMS微气压计的差分式次声波监测仪，其特征在于，包括：MEMS微气压计模块、信号输出模块、信号远程传输模块；其中，

所述MEMS微气压计模块有偶数个，这些MEMS微气压计模块成差分式结构；所述MEMS微气压计模块用于采集次声波信号，所采集的次声波信号经信号输出模块输出，并由所述信号远程传输模块传输到外部的远程服务器；

所述MEMS微气压计模块成差分式结构包括：

一个MEMS微气压计模块为密闭腔室结构，其包括前腔与后腔，前腔与后腔之间通过一前后腔隔板隔离，在所述前后腔隔板的两侧各自安装有一个MEMS模块核心感应芯片，在所述前后腔隔板上安装有一压力平衡管，在前腔与后腔上还分别向外伸出一根传声导管：入口导管和出口导管；

一个MEMS微气压计模块的入口导管作为外界大气通道，其出口导管与另一个MEMS微气压计模块的入口导管通过传声管道连接，所述另一个MEMS微气压计模块的出口导管作为外界大气通道，这两个MEMS微气压计模块形成一个子系统；同一子系统内的MEMS微气压计模块相隔至少10米；所有MEMS微气压计模块在圆周上间隔相同的角度分布且属于同一子系统的两个MEMS微气压计模块在圆周上对角分布。

2.根据权利要求1所述的基于MEMS微气压计的差分式次声波监测仪，其特征在于，所述传声导管为硬质管道。

3.根据权利要求1所述的基于MEMS微气压计的差分式次声波监测仪，其特征在于，所述MEMS微气压计模块输出模拟信号，则所述信号输出模块为模拟乘法器；各个子系统的差分输出进入模拟乘法器，以进一步放大差分输出的信号。

4.根据权利要求1所述的基于MEMS微气压计的差分式次声波监测仪，其特征在于，所述MEMS微气压计模块输出数字信号，则所述信号输出模块对所接收到的各个数字信号做差分计算；包括：

各个子系统所输出的数字信号输入到所述信号输出模块中，所述信号输出模块采用广义互相关算法对所接收到的各个数字信号做差分计算。

5.根据权利要求1所述的基于MEMS微气压计的差分式次声波监测仪，其特征在于，所述入口导管带有防尘罩。