[发明专利]一种键合金丝及其制备方法有效
申请号: | 201610688869.9 | 申请日: | 2016-08-19 |
公开(公告)号: | CN106298721B | 公开(公告)日: | 2017-07-28 |
发明(设计)人: | 赵碎孟;周钢 | 申请(专利权)人: | 广东佳博电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01L21/48;C22C1/03;C22C1/06;C22C5/02 |
代理公司: | 广州市深研专利事务所44229 | 代理人: | 陈雅平 |
地址: | 510530 广东省广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 合金丝 及其 制备 方法 | ||
1.一种键合金丝,其特征在于,键合金丝的成分的质量百分比为:金99.9930%,银0.0020%,铁0.0010%,铅0.0015%,镁0.0010%,铜0.00020%,硅0.0010%,稀土元素0.0003%;或者金99.9935%以上,银0.0015%,铁0.00050%,铅0.0010%,镁0.0005%,铜0.0020%,硅0.0005%,稀土元素0.0005%;或者金99.9965%,银0.0013%,铁0.0004%,铅0.0007%,镁0.0003%,铜0.0002%,硅0.0002%,稀土元素0.0004%。
2.根据权利要求1所述的键合金丝,其特征在于,键合金丝的直径为18-38微米,电阻为0.30-1.09欧姆,线长2.0mm的键合金丝的熔断电流为0.45-0.88安培,线长4.0mm的键合金丝的熔断电流为0.35-0.76安培,线长6.0mm的键合金丝的熔断电流为0.33-0.66安培,热影响区为16-75微米,低弧能力为80-85微米。
3.根据权利要求1所述的键合金丝,其特征在于,直径为18微米、20微米、23微米、25微米、30微米以及38微米的键合金丝的重量分别为4.35-5.45 mg/m、5.50-6.70 mg/m、7.35-8.75 mg/m、8.75-10.25 mg/m、12.75-14.75mg/m、20.75-23.10mg/m,延伸率分别为5.0-6.0%、6.5-8.0%、8.4-9.0%、9.5-10.0%、10.8-8.0%、11.0-12.0%,断裂负荷分别为8-10 cN、9-11 cN、10-13 cN、12-15 cN、17-20 cN、25-30 cN。
4.一种如权利要求1-3任一项所述的键合金丝的制备方法,其特征在于采用以下工艺步骤:
1)一次精炼,将块状金原料投入到高频电磁感应炉中进行一次精炼,得到一次精炼金熔体;
2)二次精炼,将一次精炼金熔体和中间合金同时加入连铸炉,并在1180℃的超高温下进行二次精炼,得到成分和温度均匀的二次精炼金熔体,其中,上述中间合金,可根据需要选择添加不同成分的中间合金,也可以根据需要不加;
3)连铸,采用连铸设备,对二次精炼金熔体进行连续铸造,得到直径为8.0mm的棒坯;
4)拉丝,采用拉丝机和钻石拉伸模对棒坯依次进行粗拉—中拉—细拉—终拉,得到所需直径的键合金丝;
5)清洗,采用超声波清洗技术,以无水乙醇为清洗剂,对键合金丝进行清洗;
6)退火,对清洗后的键合金丝进行退火处理,以释放键合金丝在拉丝过程中产生的应力;
7)绕线;
8)成品检测,采用专用显微镜,检测产品的表面质量,确保表面光洁、无损伤、无指印;
9)包装,将键合金丝放入包装盒内,抽真空,充入氮气保护性气体,完成包装并密封处理。
5.根据权利要求4所述的键合金丝的制备方法,其特征在于,所述的一次精炼,在精炼过程中采用氩气保护性气体,精炼温度1000-1200℃,精炼时间30-80分钟。
6.根据权利要求4所述的键合金丝的制备方法,其特征在于,所述的二次精炼,在精炼过程中采用氩气保护性气体,精炼时间30-90分钟,充分利用炉体本身的涡流,配合专用机械自动搅拌装置对熔体进行搅拌,搅拌10-15次,然后静置25-30分钟。
7.根据权利要求4所述的键合金丝的制备方法,其特征在于,所述的连续铸造的速度为10-15cm/分钟。
8.根据权利要求4所述的键合金丝的制备方法,其特征在于,所述的拉丝,其中,粗拉目标直径为800-1000微米,粗拉速度为10-15m/分钟,中拉目标直径为300-500微米,中拉速度为100-120m/分钟,细拉目标直径为80-150微米,细拉速度为250-350m/分钟,终拉拉至键合金丝的最终直径,误差在1微米内,终拉速度为400-550m/分钟。
9.根据权利要求4所述的键合金丝的制备方法,其特征在于,所述的退火采用惰性气体保护气氛,退火温度为400-450℃,退火处理时间为1.0-2.5s,退火张力为2.0-2.5cN。
10.根据权利要求4所述的键合金丝的制备方法,其特征在于,所述的绕线采用专用绕线机,将键合金丝绕制在直径3-5cm的线轴上,绕线速度为60-80m/分钟,线间距为5mm,分卷长度为100-800m。
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