[发明专利]用于多管PECVD设备的自动上下料系统及其方法

权利要求书

1.一种用于多管PECVD设备的自动上下料系统，包括推车（1）、缓存架（2）、石墨舟（3）、石墨舟装载机构（4）及推舟（5），其特征在于：还包括推舟导向机构（6），所述推舟导向机构（6）包括上水平导轨（61）、下水平导轨（62）及垂直导轨（63），所述垂直导轨（63）上下两端分别滑设于所述上水平导轨（61）和下水平导轨（62）上，所述推舟（5）滑设于所述垂直导轨（63）上，所述石墨舟装载机构（4）与所述推舟（5）连接，所述推舟（5）的推送方向与所述推舟导向机构（6）所在的平面垂直，所述推车（1）和所述缓存架（2）的底部均预留供所述石墨舟装载机构（4）通过的取放口（7），所述推舟（5）包括第一悬臂板（51）、第二悬臂板（52）、第一驱动机构（53）及滑设于所述垂直导轨（63）上的安装座（59），所述第一悬臂板（51）与所述安装座（59）固定连接并于下侧固设沿推送方向布置的第一滑动导轨（511），所述第二悬臂板（52）上侧固设有第一滑块（521），所述第一滑块（521）滑设于所述第一滑动导轨（511）上，所述第一驱动机构（53）包括第一驱动电机（531）、一对第一皮带轮（532）及绕设于一对第一皮带轮（532）上的第一传动皮带（533），一对所述第一皮带轮（532）安装于所述第一悬臂板（51）上并沿所述第一滑动导轨（511）的长度方向布置，所述第一驱动电机（531）与其中一个第一皮带轮（532）连接，所述第二悬臂板（52）与所述第一传动皮带（533）固定连接。

2.根据权利要求1所述的用于多管PECVD设备的自动上下料系统，其特征在于：所述第二悬臂板（52）的侧壁上固设有第一L形连接板（522），所述第一L形连接板（522）配设有第一夹板（523），所述第一传动皮带（533）夹设于所述第一L形连接板（522）与第一夹板（523）之间，所述第一L形连接板（522）与第一夹板（523）通过紧固件连接。

3.根据权利要求1所述的用于多管PECVD设备的自动上下料系统，其特征在于：所述推舟（5）还包括第三悬臂板（54）及第二驱动机构（55），所述第二悬臂板（52）下侧固设有与所述第一滑动导轨（511）平行的第二滑动导轨（524），所述第三悬臂板（54）上侧固设有第二滑块（541），所述第二滑块（541）滑设于所述第二滑动导轨（524）上，所述第二驱动机构（55）包括第二驱动电机（551）、一对第二皮带轮（552）及绕设于一对第二皮带轮（552）上的第二传动皮带（553），一对所述第二皮带轮（552）安装于所述第二悬臂板（52）上并沿所述第二滑动导轨（524）的长度方向布置，所述第二驱动电机（551）与其中一个第二皮带轮（552）连接，所述第三悬臂板（54）与所述第二传动皮带（553）固定连接，所述石墨舟装载机构（4）与所述第三悬臂板（54）固定连接。

4.根据权利要求3所述的用于多管PECVD设备的自动上下料系统，其特征在于：所述第三悬臂板（54）的侧壁上固设有第二L形连接板（542），所述第二L形连接板（542）配设有第二夹板（543），所述第二传动皮带（553）夹设于所述第二L形连接板（542）与第二夹板（543）之间，所述第二L形连接板（542）与第二夹板（543）通过紧固件连接。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的用于多管PECVD设备的自动上下料系统，其特征在于：所述上水平导轨（61）和所述下水平导轨（62）之间设有同步机构（8），所述同步机构（8）包括同步电机（81）、一对同步轴（82）、一对上皮带轮（83）、一对下皮带轮（84）、绕设于一对上皮带轮（83）上的上传动皮带（85）以及绕设于一对下皮带轮（84）上的下传动皮带（86），一对所述同步轴（82）分设于所述垂直导轨（63）两侧，同步轴（82）上下两端分别装设于所述上水平导轨（61）和所述下水平导轨（62）上，一对上皮带轮（83）一一对应安装于一对同步轴（82）上端，一对下皮带轮（84）一一对应安装于一对同步轴（82）下端，所述同步电机（81）与其中一根同步轴（82）连接，所述垂直导轨（63）上下两端分别固设有上滑块（631）和下滑块（632），所述上滑块（631）滑设于所述上水平导轨（61）上并与所述上传动皮带（85）固定连接，所述下滑块（632）滑设于所述下水平导轨（62）上并与所述下传动皮带（86）固定连接。