[发明专利]一种光栅尺定位分配精度补偿的方法

权利要求书

1.一种光栅尺定位分配精度补偿的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1.先在直线电机的行程范围内设定N个预置点，设定后直线电机回零，然后光栅尺测量值清零，激光干涉仪测量值清零；

S2.直线电机运动至该N个预置点中的某个预置点，并记录激光干涉仪测量值和光栅尺测量值；

S3.以激光干涉仪测量值为基准，将激光干涉仪测量值和光栅尺测量值相减获得两者间的误差值；

S4.对同一预置点重复m次上述过程，求出该同一预置点在m次测试中的光栅尺测量值的平均值Xi以及误差值平均值σi；

S5.重复上述过程，分别获得该N个预置点处的光栅尺测量值的平均值Xi以及误差值平均值σi，绘出Xi-σi坐标分布图；

S6.对S5中获得的Xi-σi坐标分布图进行线性拟合，得到线性误差补偿直线，其中该线性误差补偿直线的线性表达式为σ＝kx+a，其中σ为线性误差值，x为原始光栅尺测量值，k为直线斜率，a为线性系数；然后根据公式y1＝x-σ,获得补偿线性误差后的光栅尺测量值，其中y1为补偿线性误差后的光栅尺测量值，x为原始光栅尺测量值，σ为线性误差值；

S7.将每个预置点的在m次测试中获取的误差值与其对应的线性误差值σ相减获取局部误差θi，根据某点的局部误差θi以及其对应的光栅尺测量值x，绘出θi-x坐标分布图；

S8.对S7中获得的θi-x坐标分布图进行高次函数拟合，获得拟合函数θ＝anxn+an-1xn-1+…+ax+b，然后根据公式y2＝y1-θ计算补偿局部误差后的光栅尺测量值，其中y2为补偿局部误差后的光栅尺测量值，y1为补偿线性误差后的测量值，θ为局部误差。

2.根据权利要求1所述的一种光栅尺定位分配精度补偿的方法，其特征在于：设定以所述S1中的每个预置点为中心的领域其中S为该预置点的值，为设定的常数；当直线电机运动至预置点的附近区域Si内时，执行S1至S8进行线性误差补偿和局部误差补偿；当直线电机没有运动至预置点的附近区域Si内时，仅执行S1至S6进行线性误差补偿。