[发明专利]一种用于大面积MCP清刷测试的真空装置有效
| 申请号： | 201610695410.1 | 申请日： | 2016-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN106246512B | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 钱芸生;宋诚鑫;赵慧明;汤狸明;金戈;邱亚峰;张振 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | F04B41/06 | 分类号： | F04B41/06;F04B37/14;F04B39/10;G01M13/00 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱宝庆 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 大面积 mcp 测试 真空 装置 | ||
【权利要求书】：
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