[发明专利]一种方法、一种半导体器件以及一种层布置有效
申请号: | 201610698354.7 | 申请日: | 2016-08-19 |
公开(公告)号: | CN106469710B | 公开(公告)日: | 2020-01-21 |
发明(设计)人: | S·R·耶杜拉;R·佩尔泽;S·韦勒特 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/52 | 分类号: | H01L23/52;H01L23/488;H01L21/768 |
代理公司: | 11256 北京市金杜律师事务所 | 代理人: | 郑立柱 |
地址: | 德国诺伊*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 方法 半导体器件 以及 布置 | ||
【说明书】:
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