[发明专利]光波导元件和使用其的光调制器有效
| 申请号： | 201610698462.4 | 申请日： | 2016-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN106468835B | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 岩塚信治;佐佐木权治;白井智士 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035;G02B6/12 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;陈明霞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平板部 基模 光波导元件 传播损耗 光调制器 波导层 平板模 基板 脊部 脊型光波导 有效折射率 铌酸锂膜 波长 脊宽 减小 传播 | ||
1.光波导元件，其特征在于，
具备：
基板；和
波导层，其由形成于所述基板上的铌酸锂膜构成，
所述波导层具有：具有规定的厚度的平板部和从所述平板部突出的脊部，
所述平板部的最大厚度为在所述脊部中传播的光的波长的0.05倍以上且小于0.4倍。
2.如权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，
所述脊部的宽度为所述波长的0.1倍以上且小于1.0倍。
3.如权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，
所述脊部的厚度为在所述脊部中传播的光的波长的0.5倍以上且2.0倍以下。
4.如权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，
所述脊部的侧面的倾斜角为70°以上。
5.如权利要求1～4中任一项所述的光波导元件，其特征在于，
所述平板部位于所述脊部的两侧，包含随着远离所述脊部而膜厚变薄的倾斜部。
6.如权利要求5所述的光波导元件，其特征在于，
所述倾斜部的最大膜厚为在所述脊部中传播的光的波长的0.1倍以上且0.37倍以下。
7.如权利要求5所述的光波导元件，其特征在于，
所述脊部的宽度为在所述脊部中传播的光的波长的0.3倍以上且小于1.2倍。
8.一种光调制器，其特征在于，
至少一部分使用了构成权利要求1～7中任一项所述的光波导元件的光波导。
9.如权利要求8所述的光调制器，其特征在于，
具备多模干涉分支波导，其连接于所述光波导，相对于m＝1模式的传播损耗比相对于m＝0模式的传播损耗大。
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