[发明专利]一种晶圆研磨头清洗装置及清洗方法有效
| 申请号： | 201610703066.6 | 申请日： | 2016-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN106141905B | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 罗方;张传民;文静;林军;吴科 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/04;B24B53/017;B24B49/10;B24B55/00;B08B3/12 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;张磊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨头 清洗 清洗装置 种晶 超声波清洗 产品良率 高压净化 高压气体 清洗能力 研磨 企业利润 超声波 异物 超强 吹扫 刮伤 晶圆 清洁 | ||
【说明书】：
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