[发明专利]溅射靶材用硅锆合金的制备方法在审
| 申请号： | 201610707859.5 | 申请日： | 2016-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN106367625A | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 李鹏廷;王凯;任世强;谭毅;姜大川 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C22C1/05 | 分类号： | C22C1/05;C22C28/00 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司21212 | 代理人： | 李馨 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 靶材用硅锆 合金 制备 方法 | ||
【说明书】：
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