[发明专利]一种柔性大行程微纳加工设备有效
申请号: | 201610716013.8 | 申请日: | 2016-08-24 |
公开(公告)号: | CN106082114B | 公开(公告)日: | 2019-03-15 |
发明(设计)人: | 高健;曾昭和;汤晖;张揽宇;何思丰;陈新;管贻生;贺云波;简川霞;姜永军;杨志军 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00;B81C3/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 510062 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 柔性 行程 加工 设备 | ||
【说明书】:
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