[发明专利]一种检测碳化硅中氧含量的方法有效
| 申请号： | 201610717325.0 | 申请日： | 2016-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN106290809B | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 韩宇;张霞;龚志刚;郝文虎;龚星宇;陈冠宇;于棋;闫凡龙;尹丽娜 | 申请（专利权）人： | 山田研磨材料有限公司;山东山田新材科研有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/38 | 分类号： | G01N33/38;G01N1/28;G01N1/34 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 董宝锞 |
| 地址： | 276700 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 检测 碳化硅 含量 方法 | ||
【说明书】：
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