[发明专利]一种光纤差分干涉的压力测量装置及方法有效
申请号: | 201610728333.5 | 申请日: | 2016-08-25 |
公开(公告)号: | CN106404269B | 公开(公告)日: | 2018-04-03 |
发明(设计)人: | 吴宜灿;黄群英;朱志强;李春京;贺建 | 申请(专利权)人: | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
主分类号: | G01L11/02 | 分类号: | G01L11/02;G01D5/353;G01F1/34 |
代理公司: | 合肥市上嘉专利代理事务所(普通合伙)34125 | 代理人: | 王伟 |
地址: | 230031 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光纤 干涉 压力 测量 装置 方法 | ||
技术领域
本发明属于热工流体测量领域,涉及一种光纤差分干涉的压力测量装置及方法。
背景技术
压力流量的测量在工业生产和过程控制中占有重要地位,其在电厂、冶金、航空、机械及核反应堆等领域均有广泛应用需求。随着科学技术的发展,测量对象的日益增多,对压力的测量要求也越来越高,如高温介质压力测量。目前测量气体或水介质的常规压力仪表是不能胜任高温液态金属压力测量,尤其液态重金属反应堆中高温液态重金属对压力的测量要求更高,其面临高温、腐蚀、辐照等恶劣环境。目前报道的钠堆中一般采用充有钠钾合金的膜片式压力计可以用来测量液态钠的压力,然而,压力输出特性对于充有钠钾合金的毛细管的变化是很敏感的。
目前常用的电类压力传感单元有压阻式、压电式、电容式等压力传感单元,分别采用Si(SiC)、压电材料等为弹性传感元件感知压力的变形,并通过后续惠更斯电桥或电容极板将信号转化为电信号。其中,SiC具备很好的抗热塑性变形(达到1000℃左右),目前作为高温压阻式压力传感单元的使用材料之一。前述的电类传感单元电类传感单元采用电信号进行传输,一般在高温、高压、腐蚀、电磁干扰的恶劣环境下难以长期稳定工作,而且一些需要克服温度对测量的影响而进行补偿处理。
光纤传感技术具有高灵敏度、耐高温高压、抗环境干扰、抗电磁干扰、光纤信号传输能耗低等优点而受到测量领域研究的青睐,具有克服电类压力传感单元的不足。光纤压力传感技术可分为传感型光纤传感器和传光型光纤压力传感器。前者主要将外界压力作用下对光纤自身的某些光学特性(光强,相位、偏振态、波长)进行调制,调制区在光纤之内。传光型光纤传感器借助其他光学敏感元件来完成传感功能,调制区在光纤之外,光纤只起传输作用。目前光纤压力传感技术研究比较多,主要代表性研究有光纤Bragg光栅压力传感器(如专利US20150141843A1和WO2000033046A1所报道)以及光纤干涉型压力传感器,后者主要结合光纤传感和传统的干涉技术,比如光纤迈克尔逊(Michelson)干涉仪(如专利CN201010272269.7),光纤法布里-珀罗(Fabry-Perot)干涉仪(如专利US6078706和US20150141843所报道)。然而,目前前述的光纤Bragg光栅压力传感器长期在高温环境下还有退化问题,前述的光纤干涉型压力传感器一般为非共光路干涉仪,容易受背景环境因素的影响,从而影响测量准确性;另外,温度的影响需要通过一定的技术手段进行补偿。
发明内容
本发明的技术解决问题:克服现有压力测量方法存在不足的问题,提供一种光纤差分干涉的压力测量装置及方法,可以实现高温、高腐蚀的压力测量,具有抗电磁干扰和抗辐照等优势。另外,结合压差型流量计本发明可以实现高温介质流量测量。
本发明所采用的技术方案如下:一种光纤差分干涉的压力测量装置,包括光纤激光单元、光纤耦合单元、反射差分单元、光纤扩束准直单元、光电探测单元、存储单元以及信号处理单元;
光纤激光单元发出的光波经过光纤传输至光纤耦合单元后并传输至光纤扩束准直单元;
光纤扩束准直单元与反射差分单元相连,并用于照射反射差分单元;反射差分单元与引压管相连,引压管与密闭管道相连;反射差分单元受密闭管道内流体流至引压管的压力影响产生而变形,表现为对反射差分单元的±1级反射光中分别引入位相变化;
光电探测单元与存储单元相连,用于采集来自反射差分单元的±1级衍射光所形成的差分干涉图并传输给存储单元;
存储单元与信号处理单元相连,用于存储光电探测单元传输过来的差分干涉图,以及用于存储信号处理单元传输过来的压力值对应的位相信息及压力信息;信号处理单元用于根据存储单元存储的差分干涉图计算测量点的压力在干涉图中所引入的位相信息,进而计算得到压力值。所述反射差分单元为特殊结构设计的反射位相光栅,用于实现对反射光波的剪切;反射位相光栅一个周期内包含两个非透光部分和两个反射光部分,其中两个反射光部分包含直接反射部分即无相位延迟和π相位延迟反射部分;而且两个非透光部分尺寸相同,直接反射部分和π相位延迟反射部分尺寸相同;
所述反射位相光栅基底材料采用SiC,非透光部分利用镍铬合金膜,反射位相光栅中直接反射部分材料采用SiC,π相位延迟反射部分采用蓝宝石(Al2O3),厚度为d=nλ/4,d为蓝宝石厚度,n为蓝宝石折射率,λ为光波波长。
所述反射位相光栅占空比为1/2,即非透光部分与反射光部分的尺寸大小之比为1/2。
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