[发明专利]一种金属化薄膜制作方法有效
申请号: | 201610732825.1 | 申请日: | 2016-08-27 |
公开(公告)号: | CN106435230B | 公开(公告)日: | 2017-09-29 |
发明(设计)人: | 宋仁祥;宋仁喜;罗章;朱杰;董志乐 | 申请(专利权)人: | 安徽省宁国市海伟电子有限公司 |
主分类号: | C22C1/02 | 分类号: | C22C1/02;C22C21/00;C23C14/24;C23C14/14;H01G4/008;H01G4/015 |
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地址: | 242300 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 金属化 薄膜 制作方法 | ||
1.一种金属化薄膜制作方法,其特征在于包括以下步骤:
步骤一、金属丝的制作
将铝锭、锡锭、钠锭、钾锭和金属硅粉置入熔炼炉内进行熔炼成制成合金熔液,熔炼过程中需要通入氮气保护气,当合金熔液的温度达到950℃±5℃时,再通过连铸法和拉丝工艺制成金属丝;其中,所述铝锭的质量:锡锭的质量:钠锭的质量:钾锭的质量:金属硅粉的质量=(80~82):(31~33):(7.3~7.6):(3.5~3.7):(0.22~0.28);所述金属丝中Na的重量百分比为a,5.98%≤a≤6%;所述金属丝中K的重量百分比为b,2.87%≤b≤2.92%;2<a/b<2.1;所述金属丝中Si的重量百分比为c,0.18%≤c≤0.22%,40<(a+b)/c<50;
步骤二、真空镀膜
通过真空镀膜机中的送丝机构将金属丝送入蒸发坩埚中,金属丝在蒸发坩埚中从金属熔液变为金属蒸气,金属蒸气在镀膜室中对绝缘基膜进行真空蒸镀作业制成原料膜,原料膜经过分切后即制成金属化薄膜。
2.根据权利要求1所述的一种金属化薄膜制作方法,其特征在于:所述步骤二中蒸发坩埚的外部还设置有安装槽,安装槽中设置有超声波发生器和绝缘油;在进行真空蒸镀作业时,超声波发生器的频率为30.8~31.6KHz。
3.根据权利要求1所述的一种金属化薄膜制作方法,其特征在于:所述步骤一中金属硅粉的纯度为99.9%以上,金属硅粉的粒径小于50μm。
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