[发明专利]一种图形晶圆无损伤超声波/兆声波清洗装置有效
| 申请号： | 201610740883.9 | 申请日： | 2016-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN106345721B | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 滕宇;吴仪 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/04;B08B3/08;B08B3/12;F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龙;张磊 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 图形 晶圆无 损伤 超声波 声波 清洗 装置 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京七星华创电子股份有限公司，未经北京七星华创电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610740883.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种喷涂用喷嘴自动清洗装置及其清洗方法
- 下一篇：一种清洗装置
