[发明专利]一种高机械品质因子的薄膜谐振子实现装置有效
| 申请号： | 201610741294.2 | 申请日： | 2016-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN106301281B | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 李永民;李宗阳;张强;彭堃墀 | 申请（专利权）人： | 山西大学 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/02 |
| 代理公司： | 山西五维专利事务所(有限公司) 14105 | 代理人： | 张福增 |
| 地址： | 030006 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 机械 品质 因子 薄膜 谐振子 实现 装置 | ||
【权利要求书】：
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