[发明专利]互连基板、其制作方法及垂直堆叠式半导体组件在审
申请号: | 201610768709.5 | 申请日: | 2016-08-30 |
公开(公告)号: | CN106505062A | 公开(公告)日: | 2017-03-15 |
发明(设计)人: | 林文强;王家忠 | 申请(专利权)人: | 钰桥半导体股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/525 | 分类号: | H01L23/525;H01L23/528;H01L25/00;H01L21/60 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 曹玲柱 |
地址: | 中国台湾台北*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 互连 制作方法 垂直 堆叠 半导体 组件 | ||
【权利要求书】:
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