[发明专利]提高电铸微流控镍模具寿命的方法及电铸微流控镍模具有效
| 申请号： | 201610772529.4 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN106222708B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 郭哲;刘祝凯;许斌;李晓龙;胡在兵 | 申请（专利权）人： | 北京同方光盘股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D1/10 | 分类号： | C25D1/10 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所 11309 | 代理人： | 陈霁 |
| 地址： | 101500 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微流控 电铸 模具 表面金属化 电铸模具 模具寿命 显影处理 掩模板 衬底 负性 负性光刻胶 光刻胶图形 片间均匀性 微流控芯片 打磨处理 打磨设备 模具背部 模具制备 光刻胶 光刻 减薄 镍板 上旋 制备 打磨 精密 曝光 节约 | ||
【说明书】：
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