[发明专利]投影物镜支撑装置以及光刻机设备

权利要求书

1.一种投影物镜支撑装置，位于投影物镜与主基板之间，其特征在于，包括围绕所述投影物镜分布的若干组柔性支撑组件，所有所述柔性支撑组件形成的图形的中心位于所述投影物镜的中轴上，每组柔性支撑组件包括一安装在主基板上的柔性支座，所述柔性支座具有一支座本体，所述支座本体为空心的筒柱状，所述支座本体的筒壁设置有若干层镂空，每一层镂空具有若干个网格，相邻两层镂空的网格相互错位。

2.如权利要求1所述的投影物镜支撑装置，其特征在于，所述网格的形状为圆角矩形。

3.如权利要求2所述的投影物镜支撑装置，其特征在于，每一层镂空的网格数不大于八个，相邻两层网格之间的筒壁高度不小于1mm。

4.如权利要求1所述的投影物镜支撑装置，其特征在于，所述柔性支座还包括

一与所述投影物镜连接的物镜接口，位于所述支座本体上方；

一与所述主基板连接的主基板接口，位于所述支座本体下方。

5.如权利要求4所述的投影物镜支撑装置，其特征在于，所述主基板接口的直径大于所述支座本体的直径。

6.如权利要求2所述的投影物镜支撑装置，其特征在于，所述支座本体为圆筒柱状，所述支座本体的外径为30～50mm，筒壁厚度为3～10mm，所述支座本体的高度为80～150mm，共有3～16层镂空，每一层镂空具有3～8个网格，同一层镂空中相邻两个网格的间距为1～12mm，相邻两层网格之间的筒壁高度为1～12mm，所述网格的圆角直径为3～10mm。

7.如权利要求2所述的投影物镜支撑装置，其特征在于，所述支座本体为椭圆筒柱状，所述支座本体的长外径和短外径皆取值为30～50mm，筒壁厚度为3～10mm，所述支座本体的高度为80～150mm，共有3～16层镂空，每一层镂空具有3～8个网格，同一层镂空中相邻两个网格的间距为1～12mm，相邻两层网格之间的筒壁高度为1～12mm，所述网格的圆角直径为3～10mm。

8.如权利要求1所述的投影物镜支撑装置，其特征在于，所述支座本体的材料为0Cr17Ni7Al、65Mn、4Cr13、60Si2MnA中的任意一种。

9.如权利要求1所述的投影物镜支撑装置，其特征在于，所述柔性支撑组件为三组，三组柔性支撑组件形成等腰三角形，所述等腰三角形的中心位于所述投影物镜的中轴上。

10.如权利要求1所述的投影物镜支撑装置，其特征在于，所述柔性支座的一阶固有频率大于800Hz。

11.如权利要求1所述的投影物镜支撑装置，其特征在于，每组柔性支撑组件还包括一限位支座，其安装在所述主基板上，且位于所述柔性支座远离所述投影物镜的一侧。

12.一种光刻机设备，其特征在于，从上至下依次包括

投影物镜,用于将图案化曝光能量传递到工件表面；

如权利要求1～11所述的投影物镜支撑设备，其一端与所述投影物镜接触，用于支撑所述投影物镜，另一端固定在主基板上；

主基板，用于放置工件；

减振器，用于减缓光刻机设备受到的振动；

基础框架，用于支撑所述主基板和所述减振器；

地基。

13.如权利要求12所述的光刻机设备，其特征在于，所述减振器的特征频率为0.5Hz。

14.如权利要求12所述的光刻机设备，其特征在于，每组柔性支撑组件还包括若干个阻尼器，设置在所述投影物镜与所述主基板之间。

15.如权利要求14所述的光刻机设备，其特征在于，所述阻尼器位于所述柔性支座远离所述投影物镜的一侧。