[发明专利]超高真空球阀

权利要求书

1.一种超高真空球阀，包括球体(5)，其特征在于，还包括密封结构，所述密封结构包括由第一密封材料形成的密封主体(1)和由第二密封材料形成的密封加强体(2)，所述密封主体(1)包括用于密封的密封面(3)；所述密封面(3)上设置有凹槽(4)，所述密封加强体(2)嵌在所述凹槽(4)中；所述第二密封材料的硬度小于所述第一密封材料的硬度；所述密封面(3)和密封加强体(2)分别与所述球体(5)的球面接触，形成对所述超高真空球阀的密封。

2.如权利要求1所述的超高真空球阀，其特征在于，所述密封主体(1)为聚四氟乙烯件，所述密封加强体(2)为O形橡胶密封圈。

3.如权利要求1所述的超高真空球阀，其特征在于，所述超高真空球阀还包括靠近所述球体(5)设置的轴向定位体(6)和径向定位体(7)；所述密封主体(1)在轴向上与所述轴向定位体(6)接触，在径向上与所述径向定位体(7)接触，并且所述密封面(3)与所述球体(5)的球面接触，以实现对所述密封结构的定位；所述密封主体(1)与所述轴向定位体(6)之间设置有第一弹性机构(601)，所述第一弹性机构(601)向所述密封主体(1)施加一个轴向方向上的力；所述密封主体(1)与所述径向定位体(7)之间设置有第二弹性机构(701)，所述第二弹性机构(701)向所述密封主体(1)施加一个径向方向上的力。

4.如权利要求3所述的超高真空球阀，其特征在于，所述密封主体(1)包括与所述轴向定位体(6)接触的第一接触面(1a)和与所述径向定位体(7)接触的第二接触面(1b)；所述第一弹性机构(601)包括设置在所述第一接触面(1a)上的第一容纳槽(601a)和嵌在所述第一容纳槽(601a)内的第一弹性体(601b)，所述第一弹性体(601b)的一侧抵顶所述轴向定位体(6)；所述第二弹性机构(701)包括设置在所述第二接触面(1b)上的第二容纳槽(701a)和嵌在所述第二容纳槽(701a)内的第二弹性体(701b)，所述第二弹性体(701b)的一侧抵顶所述径向定位体(7)。

5.如权利要求4中所述的超高真空球阀，其特征在于，所述第一弹性体(601b)和所述第二弹性体(701b)为O形橡胶密封圈。

6.如权利要求4所述的超高真空球阀，其特征在于，所述超高真空球阀还包括阀杆(9)和用于容纳和支撑所述球体(5)的阀体(10)，所述阀体(10)沿径向方向设置有用于安装所述阀杆(9)的第一通道(1001)，所述第一通道(1001)的内壁设置有凸台(1001a)，所述阀杆(9)的外周侧具有凸缘(901)，所述阀杆(9)沿径向方向由外向内安装到所述第一通道(1001)中，所述凸缘(901)在径向上位于所述凸台(1001a)的外侧并压紧所述凸台(1001a)。

7.如权利要求6所述的超高真空球阀，其特征在于，所述阀杆(9)与所述第一通道(1001)的之间设置有密封组件(11)，所述密封组件(11)包括多个平行设置的密封圈(1101)，多个所述密封圈(1101)中的相邻两个之间设置有衬圈(1102)，所述密封圈(1101)为O型橡胶密封圈。

8.如权利要求7所述的超高真空球阀，其特征在于，所述密封件(11)还包括两个垫圈(1103)，两个所述垫圈(1103)分别设置在密封件(11)沿径向方向上的两端。

9.如权利要求8所述的超高真空球阀，其特征在于，所述球体(5)上开设有通孔(5a)，所述通孔(5a)的中心轴线与所述阀杆(9)的中心轴线重合，所述通孔(5a)与所述球体(5)的内部空间连通，用于排除球体(5)内的残余气体。

10.如权利要求9所述的超高真空球阀，其特征在于，所述超高真空球阀还包括下轴盖(13)，所述下轴盖(13)包括盖体(13a)和与所述盖体(13a)连接的轴状突起(13b)；所述球体(5)上还开设有与所述通孔(5a)具有相同中心轴线的盲孔(5b)；所述阀体(10)沿径向方向还设置有第二通道(1002)，所述轴状突起(13b)伸入所述第二通道(1002)和所述盲孔(5b)内，所述球体(5)能够围绕所述通孔(5a)和所述盲孔(5b)的共同的中心轴线转动。

11.如权利要求1所述的超高真空球阀，其特征在于，所述凹槽(4)的横截面为梯形。

12.如权利要求4所述的超高真空球阀，其特征在于，所述第一容纳槽(601a)的横截面为矩形，所述第二容纳槽(701a)的横截面为半圆形。