[发明专利]用金属电化学填充高纵横比的大型凹入特征的方法、水溶液电镀槽溶液、电镀设备以及系统有效
| 申请号： | 201610806686.2 | 申请日： | 2011-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN106245073B | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 马克·J·威利;史蒂文·T·迈尔 | 申请（专利权）人： | 诺发系统有限公司 |
| 主分类号： | C25D3/38 | 分类号： | C25D3/38;C25D5/02;C25D7/12;H01L21/768 |
| 代理公司： | 11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 沈锦华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属 电化学 填充 纵横 大型 特征 方法 水溶液 电镀 溶液 设备 以及 系统 | ||
【说明书】：
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