[发明专利]一种感光树脂、正性光刻胶及应用

权利要求书

1.一种感光树脂，其特征在于，所述感光树脂用于制备光刻胶，所述感光树脂的化学结构式如下所示：

其中，a、b、c为对应单体的摩尔分数，0.1b0.5，0c0.15，a+b+c＝1，

R¹、R²、R³、R⁴均为氢、甲基、或者乙基；R⁶、R⁷、R⁸均为氢或甲基；

R⁹为

R⁵为腈基，苯基，萘基，带有甲基、乙基、腈基、甲氧基、乙氧基、乙酰氧基的单取代苯基、双取代苯基、或者三取代苯基，带有甲基、乙基、腈基、甲氧基、乙氧基、乙酰氧基的单取代萘基、双取代萘基、或者三取代萘基，9-咔唑基，1-吲哚基，1-吡咯基，或者N-吡咯酮烷基。

2.根据权利要求1所述的感光树脂，其特征在于，所述感光树脂的化学结构式如下所示：

其中，R⁹为

或者

R¹⁰为H或乙酰氧基。

3.权利要求1或2所述的感光树脂在制备正性光刻胶中的应用。

4.一种正性光刻胶，包括权利要求1或2所述的感光树脂。

5.根据权利要求4所述的正性光刻胶，其特征在于，所述正性光刻胶包括主组分和溶剂，所述主组分包括所述感光树脂、线性酚醛树脂、光敏化合物、以及添加剂；

在所述主组分中，所述感光树脂的质量百分比为30-100％、所述线性酚醛树脂的质量百分比为0-60％、所述光敏化合物的质量百分比为0-20％、余量为所述添加剂。

6.根据权利要求5所述的正性光刻胶，其特征在于，所述线性酚醛树脂为酚类化合物与醛类化合物通过缩聚反应生成的三元或多元酚醛树脂，并且所述线性酚醛树脂的重均分子量为2000-15000。

7.根据权利要求5所述的正性光刻胶，其特征在于，所述光敏化合物为重氮萘醌系光敏化合物，并且所述光敏化合物的重均分子量≤2000。

8.根据权利要求5所述的正性光刻胶，其特征在于，所述添加剂选自增感剂、流控剂、增粘剂、增塑剂、染料中的至少一种。

9.权利要求1或2所述的感光树脂、权利要求4-8任一项所述的正性光刻胶在光刻工艺中的应用。