[发明专利]靶材的加工方法在审
| 申请号： | 201610808285.0 | 申请日： | 2016-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN107790745A | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;吴发游 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23B5/00 | 分类号： | B23B5/00;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 高静,吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加工 方法 | ||
1.一种靶材的加工方法，其特征在于，包括：
提供靶材，所述靶材具有待加工面；
提供刀具，所述刀具包括刀片，所述刀片上具有排削槽；
采用所述刀具对所述待加工面进行车削加工以形成溅射面，车削过程中所产生的废削通过所述刀片上的排削槽排出。
2.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，提供刀具的步骤中，所述刀片具有前刀面，所述排削槽位于所述前刀面上；
采用所述刀具对所述待加工面进行车削加工的步骤中，部分所述前刀面与所述靶材的材料相接触以进行车削加工。
3.如权利要求2所述的加工方法，其特征在于，提供刀片的步骤中，所述前刀面呈菱形，所述前刀面的边为所述刀片的切削刃，所述排削槽平行所述切削刃设置；
采用所述刀具对所述待加工面进行车削加工的步骤包括，通过所述切削刃对所述待加工面进行车削加工。
4.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，提供刀具的步骤中，所述刀片的材料为H210T合金。
5.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，提供刀具的步骤中，所述刀具还包括用于固定所述刀片的刀杆；
提供所述到刀具的步骤包括：将所述刀片固定于所述刀杆上。
6.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，采用刀具对所述待加工面进行车削加工的步骤包括：
对所述待加工面进行粗车加工，以形成粗加工面；
对所述粗加工面进行精车加工，以形成溅射面。
7.如权利要求6所述的加工方法，其特征在于，所述粗车加工的步骤和所述精车加工的步骤中的一个或两个步骤包括：采用数控机床进行加工。
8.如权利要求7所述的加工方法，其特征在于，所述粗车加工的步骤中，所述数控机床的转速在450转/分钟到550转/分钟范围内，进给量在0.27毫米/分钟到0.33毫米/转范围内，吃刀量在0.45毫米到0.55毫米范围内。
9.如权利要求7所述的加工方法，其特征在于，所述精车加工步骤中，所述数控机床的转速在720转/分钟到880转/分钟范围内，进给量在0.135毫米/分钟到0.165毫米/转范围内，吃刀量在0.09毫米到0.11毫米范围内。
10.如权利要求7所述的加工方法，其特征在于，所述粗车加工的步骤中，垂直所述待加工面的方向上，所述粗车加工的余量在0.45毫米到0.55毫米范围内。
11.如权利要求7所述的加工方法，其特征在于，所述粗车加工的步骤中，平行所述待加工面平面的方向上，所述粗车加工的余量在0.45毫米到0.55毫米范围内。
12.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，在采用所述刀具对所述待加工面进行机械加工的步骤中，在所述刀片与所述待加工面的接触处添加冷却剂。
13.如权利要求12所述的加工方法，其特征在于，在所述刀片与所述待加工面的接触处添加冷却剂的步骤中，所述冷却剂为包含有3380乳化剂的水溶液。
14.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，提供靶材的步骤中，所述靶材的材料为铜。
15.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，进行车削加工的步骤包括：采用所述刀具对所述待加工面进行车削加工，在所述待加工面上形成V型凹槽，以形成溅射面。
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