[发明专利]一种真空用高压连接装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体器件制造设备，即离子注入机，特别是一种真空用高压连接装置，属半导体设备领域。

背景技术

随着集成电路工艺技术的提高，对离子注入设备提出了更高的要求，离子注入元素的种类更多，离子注入设备的应用范围更广，其可应用于各种材料改性、半导体器件制造以及大功率器件如SiC电子器件制造等领域，并要求离子注入设备自动化程度较高，操作简单方便，工作稳定。

现有的真空用连接装置不能满足高压加载要求，存在极间打火放电现象，需要一种多路输入输出、稳定无打火的真空用高压连接装置。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，针对现有真空电极间打火技术的不足，提供了一种真空用高压连接装置，能够实现真空与大气之间的电位连接，能够满足多极直流和交流高压输入输出，极间无打火放电现象，并且能够耐600℃以上高温。

为解决高压极间打火技术问题，本发明所采用的技术方案是：一种真空用高压连接装置，包括金属底座(1)、绝缘陶瓷座(2)、供电端子(3)，其特征在于：该真空用高压连接装置能够实现真空与大气之间的电位连接，并可实现多路供电输入与输出，供电端子可按一定间距线性排列，也可随机排列。能够避免多路供电之间的高压打火问题。

所述金属底座(1)能够将高压连接装置固定到其他功用零件上，并具有与相应的功用零件相同的电位，其可根据外部接口来进行柔性设计，能够满足多种高压加载环境的应用。

所述绝缘陶瓷座(2)采用高纯陶瓷材料加工而来，具有良好的绝缘性能，能够使金属底座与供电端子的电位隔离开，并具有固定供电端子的作用，为高压加载提供了结构支撑。

所述供电端子(3)为可焊接材料加工而成，能够实现真空与大气之间的电位连接。

所述的一种真空用高压连接装置，金属底座(1)通过真空钎焊固定在绝缘陶瓷座(2)上，多个供电端子(3)也通过真空钎焊固定在绝缘陶瓷座(2)上，这样既保证了供电端子间绝缘保证了供电端子与金属坐(1)间的绝缘，同时保证了真空度要求。

与现有技术相比，本发明所具有的有益效果为：本发明结构紧凑，拆装维护方便；能够实现多极高压的输入输出、，耐高温、耐高真空、极间无打火、稳定性好。

附图说明

图1为本发明一实施例结构示意图；

图2为本发明一实施例金属底座结构示意图；

图3为本发明一实施例绝缘陶瓷座结构示意图；

图4为本发明一实施例供电端子结构示意图；

具体实施方式

如图1所示，本发明一实施例包括金属底座(1)、绝缘陶瓷座(2)、供电端子(3)等。本一种真空用高压连接装置，包括金属底座(1)、绝缘陶瓷座(2)、供电端子(3)，其特征在于：该真空用高压连接装置能够实现真空与大气之间的电位连接，并可实现多路供电输入与输出，供电端子可按一定间距线性排列，也可随机排列。能够避免多路供电之间的高压打火问题。

如图2所示金属底座结构示意图，金属底座能够将高压连接装置固定到其他功用零件上，并具有与相应的功用零件相同的电位，其可根据外部接口来进行柔性设计，能够满足多种高压加载环境的应用。

如图3所示绝缘陶瓷座结构示意图，绝缘陶瓷座采用高纯陶瓷材料加工而来，具有良好的绝缘性能，能够使金属底座与供电端子的电位隔离开，并具有固定供电端子的作用，为高压加载提供了结构支撑。

如图4所示供电端子结构示意图，供电端子为可焊接材料加工而成，能够实现真空与大气之间的电位连接。

所述的一种真空用高压连接装置，金属底座通过真空钎焊固定在绝缘陶瓷座上，多个供电端子也通过真空钎焊固定在绝缘陶瓷座上，这样既保证了供电端子间绝缘保证了供电端子与金属坐间的绝缘，同时保证了真空度要求，能够实现真空与大气之间的电位连接，能够满足多极直流和交流高压输入输出，极间无打火放电现象，并且能够耐600℃以上高温。