[发明专利]自动调整紫外激光光束位置的装置及其调整方法

权利要求书

1.一种自动调整紫外激光光束位置的装置，包括准分子紫外激光器（1）、第一反射镜（2）、电控平移台（3）、第二反射镜（5）、柱面镜（6）、相位掩膜板（7）、光纤（8）和白屏（9），其特征在于：还包括压电陶瓷（4）、CCD摄像机（10）和计算机（11），共光轴依次设置第二反射镜（5）、柱面镜（6）、相位掩膜板（7）和白屏（9），第二反射镜（5）通过固定座固定在电控平移台（3）上，第二反射镜（5）上设有压电陶瓷（4），第二反射镜（5）位于第一反射镜（2）的反射光路上，准分子紫外激光器（1）位于第一反射镜（2）的入射光路上，光纤（8）位于相位掩膜板（7）和白屏（9）之间，且紧贴相位掩膜板（7），CCD摄像机（10）对准白屏（9），采集白屏（9）上的条纹信息，CCD摄像机（10）和压电陶瓷（4）分别与计算机（11）连接；

准分子紫外激光器（1）发出紫外光束，经第一反射镜（2）反射至第二反射镜（5），经第二反射镜（5）反射至柱面镜（6），经柱面镜（6）聚焦至相位掩膜板（7），并入射至光纤（8），使得紫外光束经光纤（8）后形成细丝衍射，并在白屏（9）上出现条纹，通过CCD摄像机（10）采集白屏（9）上的条纹是否对称，并将CCD摄像机（10）采集到的条纹信息送入计算机（11），若不对称，计算机（11）反馈一个信号给压电陶瓷（4），压电陶瓷（4）接收信号并调整第二反射镜（5），使紫外光束准确的照射在光纤（8）上，使得在白屏（9）上获得的条纹中轴线上下对称。

2.根据权利要求1所述的自动调整紫外激光光束位置的装置，其特征在于：所述第一反射镜（2）和第二反射镜（5）均采用镀紫外增反膜的反射镜。

3.根据权利要求1所述的自动调整紫外激光光束位置的装置，其特征在于：所述光纤（8）水平放置。

4.根据权利要求1所述的自动调整紫外激光光束位置的装置，其特征在于：所述CCD摄像机（10）与光纤（8）位于白屏（9）的同侧。

5.一种基于权利要求1所述的自动调整紫外激光光束位置的装置的调整方法，其特征在于，方法步骤如下：

第一步，在相位掩膜板（7）后方放置一块白屏，准分子紫外激光器（1）发出紫外光束，经第一反射镜（2）反射至第二反射镜（5），经第二反射镜（5）反射至柱面镜（6），经柱面镜（6）聚焦至相位掩膜板（7），并入射至光纤（8），使得紫外光束经光纤（8）后形成细丝衍射，并在白屏（9）上出现条纹，并标定上述条纹的水平中轴线，将条纹分为上下两个部分；

第二步，通过CCD摄像机（10）观察白屏（9）上的中心亮条纹，同时将图像实时传输给计算机（11）；

第三步，对比条纹是否沿水平中轴线上下对称，若不对称，计算机（11）反馈一个信号给压电陶瓷（4）；

第四步，压电陶瓷（4）接收信号并调整第二反射镜（5），使紫外光束准确的照射在光纤（8）上，使得在白屏（9）上获得的条纹中轴线上下对称。