[发明专利]一种拉晶炉的拉晶机构在审
| 申请号： | 201610814793.X | 申请日： | 2016-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN107805840A | 公开（公告）日： | 2018-03-16 |
| 发明（设计）人： | 张汝京;肖德元;邓先亮;李寅锋;温雅楠 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 拉晶炉 机构 | ||
1.一种拉晶炉的拉晶机构，所述拉晶炉包括炉腔和位于炉腔内的坩埚，其特征在于，所述拉晶机构包括：
热屏蔽反射器，位于所述坩埚上方，围绕所述坩埚形成一个中央开口，使由所述坩埚内熔体提拉生长的晶锭从所述中央开口穿过；
籽晶夹，位于所述坩埚上方，设有固定结构夹持籽晶；
提拉部件，与所述籽晶夹连接，控制所述籽晶夹在由所述坩埚内熔体提拉生长晶锭的提拉方向上提升或下降；
其中，所述籽晶夹具有在垂直所述提拉方向上的横向延伸部分，且所述籽晶夹在垂直于所述提拉方向的平面上的投影覆盖由所述坩埚内熔体提拉生长的晶锭在所述平面上的投影。
2.根据权利要求1所述的拉晶炉的拉晶机构，其特征在于：所述籽晶夹在垂直于所述提拉方向的平面上的投影覆盖所述热屏蔽反射器形成的所述中央开口。
3.根据权利要求1所述的拉晶炉的拉晶机构，其特征在于：夹持籽晶的所述固定结构设置在所述籽晶夹的中心。
4.根据权利要求3所述的拉晶炉的拉晶机构，其特征在于：所述籽晶夹在垂直于所述提拉方向的平面上的投影为圆形。
5.根据权利要求4所述的拉晶炉的拉晶机构，其特征在于：所述圆形的直径大于或等于由所述坩埚内熔体提拉生长的晶锭的直径。
6.根据权利要求4所述的拉晶炉的拉晶机构，其特征在于：所述圆形的直径大于或等于所述热屏蔽反射器形成的中央开口的直径。
7.根据权利要求1所述的拉晶炉的拉晶机构，其特征在于：所述籽晶夹的材料选自Mo、Ni、W、石墨中的一种或多种。
8.根据权利要求1所述的拉晶炉的拉晶机构，其特征在于：所述炉腔内填充有保护气体。
9.根据权利要求8所述的拉晶炉的拉晶机构，其特征在于：所述保护气体为氩气。
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