[发明专利]一种改善物理气相传输法晶体生长炉温度场分布的装置在审
申请号: | 201610822043.7 | 申请日: | 2016-09-13 |
公开(公告)号: | CN106222739A | 公开(公告)日: | 2016-12-14 |
发明(设计)人: | 陈成敏;侯延进;刘光霞;王立秋;许敏 | 申请(专利权)人: | 山东省科学院能源研究所 |
主分类号: | C30B23/00 | 分类号: | C30B23/00 |
代理公司: | 济南金迪知识产权代理有限公司37219 | 代理人: | 杨磊 |
地址: | 250014 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 改善 物理 相传 晶体生长 炉温 分布 装置 | ||
【说明书】:
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