[发明专利]一种提高光学表面轮廓仪检测精度和有效分辨频率的方法有效
| 申请号： | 201610827114.2 | 申请日： | 2016-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN106247987B | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 王占山;徐旭东;黄秋实;沈正祥 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海科律专利代理事务所(特殊普通合伙) 31290 | 代理人： | 叶凤 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 提高 光学 表面 轮廓仪 检测 精度 最高 有效 分辨 频率 方法 | ||
【说明书】：
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