[发明专利]蒸镀装置及方法有效
| 申请号： | 201610830421.6 | 申请日： | 2016-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN106567043B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 孙亮 | 申请（专利权）人： | 湖畔光电科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京律远专利代理事务所(普通合伙) 11574 | 代理人： | 丁清鹏 |
| 地址： | 213200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【说明书】：
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