[发明专利]一种铂镍合金溅射靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201610833269.7 | 申请日： | 2016-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN106282639B | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 傅剑平;赵健;潘登 | 申请（专利权）人： | 中材科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C22C5/04 | 分类号： | C22C5/04;C23C14/34 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司32112 | 代理人： | 李建芳 |
| 地址： | 210012 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镍合金 溅射 及其 制备 方法 | ||
1.一种铂镍合金溅射靶材，其特征在于：包括铂60-80％和镍20-40％，所述百分比为质量百分比，铂和镍的质量含量之和为100％；
铂镍合金溅射靶材的制备方法，依次包括清洗、铸态、均匀化退火和温轧；
均匀化退火为将NiPt铸锭放入真空箱式退火炉在800±20℃下进行均匀化退火处理，时长为5±0.2h；
温轧在450±10℃下进行，道次变形量为40±2％，总变形量为80±2％，合金的最终厚度为1±0.1mm，温轧后采用线切割制成靶材。
2.如权利要求1所述的铂镍合金溅射靶材，其特征在于：清洗为分别将镍片和铂片进行如下操作：线切割、除油、酸洗，然后在超声波清洗器中依次用丙酮、乙醇和去离子水各清洗5±2min，最后烘干备用。
3.如权利要求1或2所述的铂镍合金溅射靶材，其特征在于：铸态为将清洗后的镍和铂按配比装入坩埚进行真空熔炼、浇铸获得NiPt铸锭。
4.如权利要求1或2所述的铂镍合金溅射靶材，其特征在于：包括铂60％和镍40％，所述百分比为质量百分比。
5.如权利要求1或2所述的铂镍合金溅射靶材，其特征在于：包括铂70％和镍30％，所述百分比为质量百分比。
6.如权利要求1或2所述的铂镍合金溅射靶材，其特征在于：包括铂80％和镍20％，所述百分比为质量百分比。
7.如权利要求1或2所述的铂镍合金溅射靶材，其特征在于：铂的纯度为99.99％以上，所述百分比为质量百分比。
8.如权利要求1或2所述的铂镍合金溅射靶材，其特征在于：镍的纯度为99.9％以上，所述百分比为质量百分比。
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