[发明专利]Cu芯球的制造方法有效
| 申请号： | 201610835984.4 | 申请日： | 2015-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN107097014B | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 川崎浩由;六本木贵弘;相马大辅;佐藤勇 | 申请（专利权）人： | 千住金属工业株式会社 |
| 主分类号： | B23K35/26 | 分类号： | B23K35/26;B23K35/30;B22F9/08;B22F1/02;B23K35/02;C22C9/00;C22C13/00;C25D3/60;C25D5/10;C25D5/12;C25D7/00;H01B1/02;H01L23/00;H05 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | cu 制造 方法 | ||
1.一种Cu芯球的制造方法，其特征在于，其具备如下的阶段：
提供作为核的Cu球的阶段，该Cu球是纯度为99.9％以上且99.995％以下、U为5ppb以下的含量且Th为5ppb以下的含量、Pb和/或Bi的总含量为1ppm以上、球形度为0.95以上、α射线量为0.0200cph/cm2以下的Cu球；
提供覆盖所述Cu球的表面的焊料镀覆膜的阶段，所述焊料镀覆膜为Sn焊料镀覆膜或由以Sn作为主要成分的无铅焊料合金形成的焊料镀覆膜，
对Cu芯球进行平滑化处理的阶段，该阶段中，通过在将Cu芯球浸渍于镀液的状态下照射超声波来对Cu芯球进行平滑化处理，使所述Cu芯球的算术平均表面粗糙度为0.3μm以下。
2.根据权利要求1所述的Cu芯球的制造方法，其特征在于，在所述对Cu芯球进行平滑化处理的阶段中，照射50～60分钟超声波。
3.根据权利要求1所述的Cu芯球的制造方法，其特征在于，所述焊料镀覆膜中，U为5ppb以下的含量且Th为5ppb以下的含量。
4.根据权利要求1所述的Cu芯球的制造方法，其特征在于，在所述对Cu芯球进行平滑化处理的阶段中，使Cu芯球的算术平均表面粗糙度为0.2μm以上且0.22μm以下。
5.根据权利要求1所述的Cu芯球的制造方法，其特征在于，在提供覆盖所述Cu球的表面的焊料镀覆膜的阶段之前，还包括：预先利用由选自Ni和Co中的1种元素以上形成的镀层覆盖所述Cu球的阶段。
6.根据权利要求1～5中的任一项所述的Cu芯球的制造方法，其特征在于，所述Cu芯球的α射线量为0.0200cph/cm2以下。
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