[发明专利]离子束照射装置

权利要求书

1.一种离子束照射装置，包括：

离子源；

质量分离器，从由所述离子源引出的离子束中挑选并导出确定的质量和价数的掺杂离子；以及

能量过滤器，形成所述离子束通过的束通过区域，并且通过被施加电压而成为规定的过滤器电位，利用离子的能量差，区分通过所述束通过区域的通过离子和不通过所述束通过区域的非通过离子，

以使所述通过离子中包含所述掺杂离子并且使所述非通过离子中包含在所述质量分离器中不能与所述掺杂离子区分的不需要的离子的至少一部分的方式设定所述过滤器电位，

所述离子束照射装置的特征在于，

所述能量过滤器具有三个以上的电极，所述三个以上的电极形成所述离子束通过的开口，并且沿所述离子束的前进方向设置，

所述三个以上的电极中的至少一个所述电极成为所述过滤器电位，其它的所述电极成为比所述过滤器电位低的电位，

配置在两端的所述电极的电位彼此相等，

所述能量过滤器还具有形状控制电极，所述形状控制电极被施加用于控制离子束形状的形状控制电压。

2.根据权利要求1所述的离子束照射装置，其特征在于，所述能量过滤器配置在所述质量分离器的下游。

3.根据权利要求1所述的离子束照射装置，其特征在于，

所述离子束照射装置还包括：

电流检测部，检测通过所述能量过滤器的离子束的束电流或流过所述电极的电流；以及

电压控制部，基于由所述电流检测部检测出的电流值，控制所述形状控制电压。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的离子束照射装置，其特征在于，多个所述电极中的一个或多个是构成所述离子束通过的束线的所述能量过滤器，并且兼用作另外的束线构成构件的电极。

5.根据权利要求1至3中任意一项所述的离子束照射装置，其特征在于，所述电极由具有导电性的非金属材料构成。

6.根据权利要求1至3中任意一项所述的离子束照射装置，其特征在于，能够对向所述能量过滤器施加的电压进行通断切换。