[发明专利]化学液存储瓶以及模块化半导体处理设备

权利要求书

1.一种化学液存储瓶，其特征在于，其包括：

形成腔体的存储瓶本体，其包括与所述腔体连通的凸出的瓶口，该瓶口外围有外螺纹；

瓶塞，其紧密的塞于瓶口内；

瓶盖，其包括顶盖、自所述顶盖的边缘延伸而成的瓶盖侧壁，所述瓶盖侧壁内侧有内螺纹，所述瓶口和瓶盖通过外螺纹和内螺纹配合螺接在一起，

所述顶盖具有自其顶面贯穿至其底面的顶盖孔，

所述瓶塞具有若干个自其顶面贯穿至其底面的连通端口，

所述连通端口通过所述顶盖孔暴露于外部，

所述连通端口包括自所述瓶塞的顶面向内延伸的固定孔，以及自所述固定孔继续向内延伸并贯穿所述瓶塞的管线孔，固定孔的直径大于所述管线孔的直径，

所述化学液存储瓶还包括固定件和管线，所述固定件包括头部、自所述头部的一端延伸而成的杆部，所述管线与所述化学液存储瓶的腔体连通，所述化学液存储瓶内的化学液通过所述管线流出，

所述固定件包括自头部远离所述杆部的一端向内延伸的头部孔，以及自所述头部孔继续向内延伸并贯穿所述杆部的收容孔，所述固定件能够固定于所述瓶塞的连通端口的固定孔中，所述头部孔与所述收容孔形成管线通道以供管线穿过，

所述管线穿过所述管线通道以及所述瓶塞的管线孔伸入所述存储瓶本体的腔体内，

所述的化学液存储瓶，还包括堵塞件，所述堵塞件包括：

固定件，其包括头部、自所述头部的一端延伸而成的杆部，所述杆部具有自远离所述头部的一端向内延伸而成的收容孔；

堵芯，其包括堵芯杆和自所述堵芯杆的一端延伸而成的堵芯头，其中，所述堵芯杆可拆卸的收容于所述堵塞件的固定件的收容孔内，所述堵芯头的尺寸大于所述堵塞件的固定件的收容孔的尺寸，所述堵塞件能够堵塞所述瓶塞的连通端口的固定孔，

当对所述头部施力以使得所述固定件的杆部伸入所述固定孔中直至堵芯头位于所述固定孔的底部时，堵芯头被挤压变形，变形后的堵芯头密封所述固定孔。

2.根据权利要求1所述的化学液存储瓶，其特征在于，所述瓶塞还包括自靠近所述瓶塞顶面的侧壁向外延伸的瓶塞外缘部，该外缘部直径大于所述瓶口的直径。

3.根据权利要求2所述的化学液存储瓶，其特征在于，所述瓶塞还包括形成于所述瓶塞侧壁上的位于所述瓶塞外缘部下方的凹陷部。

4.根据权利要求1所述的化学液存储瓶，其特征在于，所述瓶塞还具有自其顶面贯穿至其底面的安装孔，所述安装孔通过所述顶盖孔暴露于外部,

所述化学液存储瓶还包括位于所述腔体内的传感器和与所述传感器电性连接的通讯线路，所述传感器的第一端密封连接于所述安装孔，所述传感器的第二端伸入所述腔体，所述通讯线路与所述传感器的第一端电性相连，并穿过所述安装孔延伸至外部。