[发明专利]一种全息光栅阵列的制作装置有效
| 申请号： | 201610839438.8 | 申请日： | 2016-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN106226854B | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 李星辉;周倩;朱祥文;倪凯;王晓浩;胡海飞;燕鹏 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B5/32 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 方艳平 |
| 地址： | 518055 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 全息 光栅 阵列 制作 装置 | ||
【权利要求书】：
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